三坐标测量仪是一种效率很高的仪器设备，用它来精确测量圆形也具备很高的精密度，特别是在在大批量测量的情况下更能显示出它的优势，并且，用三坐标来测量圆形，工件不用调平和调中心，能节约许多时间，另外也降低了这两项误差来源，使数据误差仅限测量仪自身的偏差和表面粗糙度的影响，减化了偏差模型。三坐标测量仪测量圆形的方式主要有：

1．扫描仪测量

假如要了解详细的形状，可以选用扫描方法，选用扫描方法时，获得的是详细的轮廓，采用包容区域法进行鉴定。扫描方法的特性是效率略低一些，但能够对零件轮廊进行深入分析。

2．单点测量

选用单点触测方法因为获得的是一些离散变量的点，因此选用二乘法进行测算和评估。选用二乘法进行测算时，取样点一般为双数，均匀分布。再用单点法进行圆度测量时，取样点数不可以太少，不然反应不了圆度的具体情况，一般要做到16点以后即可体现被测圆的基础轮廊形状，如果为了了解更严密的形状，可适度提升测量等级，如24，32等。取样时一般选用自动测控系统，由于手动式取样麻烦操纵矢量方向。点射触测方法的特性是精确测量效率高，对测球的磨损小。

评测结果显示，无论是单点测量还是扫描测量，检测仪都能够获得过与圆度仪十分接近的结果，表明三坐标测量仪测量圆度具备很高的精密度。可是，因为三坐标测量仪一般都选用球形测头，球形测头对脏污较为敏感，非常容易导致虚假测量，而圆度仪选用的是斧形测头，可以穿过脏物，因而脏物对它的危害较小。因此使用测量仪时要留意对产品工件的清理。